冷凍機-工業冷凍機-高低溫一體機
半導體投入大，制造工序多，為了提高產品的良品率、確保收益，需要在半導體的每個環節進行質量把控，影響產品質量的其中一個重要因素就是溫度，溫度的穩定性及精準度非常重要，為獲得穩定可靠的產品保駕護航。
冠亞循環冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經驗以及與各大zhi名主設備機臺直接配套經驗，我們為半導體客戶提供標準產品及用戶定制產品、溫度控制技術的專業知識以及全球化服務，有助于滿足您從鑄錠到測試的半導體工藝流程中苛刻的溫度要求。
| 型號 | FLTZ-203W/2T雙系統 | FLTZ-305W/2T 雙系統 | FLTZ-406W/2T 雙系統 | |||
| 溫度范圍 | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | |||||
| 流量/壓力 MAX | 15~45L/min 6bar | |||||
| 制熱 | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 制冷量 | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
| 內循環液容積 | 5L | 8L | 8L | |||
| 膨脹罐容積 | 15L | 25L | 25L | |||
| 導熱介質 | 氟化液、防凍液、導熱硅油等 | |||||
| 制冷劑 | R404A/ R448 | |||||
| 導熱介質接口 | Rc3/4 | |||||
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | |||||
| 冷卻水 | 50L/min at20℃ | 60L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| 電源 | 三相220V / 三相400V /三相460V | |||||
| ?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫） | |||||
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