冷凍機-工業冷凍機-高低溫一體機
產品中心
Product Center
雙通道系列 Dual Channel Chiller
產品簡介
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，公司在系統中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統的響應速度、控制精度和穩定性。
每個通道具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質流量等，采用獨立的兩套系統，根據所需的溫度范圍選擇采用蒸汽壓縮制冷，或者采用ETCU無壓縮機換熱系統，系統可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統等，可以有效減少設備尺寸，減少操作步驟。
加載情況下控溫精度可達士0.1℃，可在-45℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性。
單通道系列 Single Channel Chiller
產品簡介
FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度精準控制，公司在系統中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現系統快速響應、較高的控制精度。
Chillers的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統進行全面管理監控記錄。
加載情況下控溫精度高，可在-100℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性；先進的低溫制冷技術，支持-100℃~ -80℃超低溫控溫。
三通道系列 Triple Channel Chiller
產品簡介
FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度精準控制，系統支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質流量等。
公司在系統中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現系統快速響應、較高的控制精度，加載情況下控溫精度可達±0.1C，可在-20℃~+100℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性。
面板系列Panel Chiller
產品簡介
面板系列Chiller應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續穩定運?；支持冷卻?動態調節系統，可根據環境溫度與設備熱負荷，實時調節?溫。
采用變頻智能節能控制，減少?效能耗；全?動補液與?質管理，缺液時?動補液；符合三通道?藝設計要求，確保信號/流體的獨?傳輸與精準控制。
帕爾貼Chiller
產品簡介
冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導體行業度身定制；
基于經過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理，帕爾貼溫度控制系統能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制；
對于靜電卡盤(ESC)動態的溫度控制，使得其能夠應用于所有類型的刻蝕工藝；
快速和準確的溫度控制，能夠滿足任何嚴苛的工藝要求；
低能耗，空間占地小，同時還能夠穩定的控制溫度。
負壓型控溫機組
產品簡介
負壓型控溫系統通過負壓環境下的流體循環實現精準溫度控制，原理：通過負壓發?器驅動導熱介質（?/油）循環，避免泄漏?險，適?于各種類型板卡冷卻。
核?技術與優勢
防泄漏設計：系統運?時管路處于負壓狀態，即使管道破裂也不會泄漏?溫介質，安全性?。
?效節能：全密閉循環，閉式循環，減少熱能損耗。
精準控溫：采?PID算法或PLC控制，實現溫度波動≤±0.3℃，適?于精密制造場景。
多場景適配：?持純?、氟化液、??醇?溶液等不同介質，控溫范圍從常溫到80度
FLTZH雙通道高溫Chiller
產品簡介
冠亞恒溫LNEYA雙通道?溫控溫的Chiller，可以?來滿?半導體?溫測試需求，介質溫度最?可達250℃，以特殊的?藝?式，保證系統?溫?況下的控溫精度。
ETCU換熱控溫單元
產品簡介
ETCU換熱控溫單元冷卻?溫度范圍：+5℃?+90℃，控溫精度±0.05℃；系統?壓縮機，通過換熱降溫；?持?標定制，?持PC遠程控制；采?西??/霍尼?爾調節閥控制冷卻?流量；最?循環量時，控溫溫度與冷卻?溫度溫差15°C。
全氟聚醚油CLKDOC138
產品簡介
全氟聚醚油常溫下為無色透明的油狀液體，耐高溫、耐化學腐蝕、抗氧化、抗輻射，主要用作潤滑油、真空泵油，由于具有高的穩定性、安全性，特別是在尤為苛刻條件下工作時所表現的高度可靠性，因此，沒有任何一種工作介質能在如此嚴酷的環境下與全氟聚醚油相媲美。
冠亞高精度水冷機氟化液CLKDOC78
產品簡介
氫氟醚是由氫、氟、氧和碳原子構成的化合物，具有醚結構，臭氧消耗潛能值ODP為零，全球暖化潛勢系數GWP低，且大氣停留時間很短，被認為是CFCs 理想替代品。除優良的環境性質外，氫氟醚還具有熱穩定性和化學穩定性、適度的溶解性、毒性低、無腐蝕性、不燃、不產生煙塵、材料兼容性好等特點，易于貯藏和運輸，被廣泛應用于醫療、電子、金屬、精
密器械、光學鏡片、通信及航空航天等眾多領域。
氫氟醚CLKDOC78作為美國環境保護部（EPA）確定的氟利昂替代物清單（SNAP）清單中的清潔劑和冷媒，且已被EPA排除在揮發性有機化合物（VOC）之列。可用于儀器、電子、半導體、醫療設備、航空航天等制造行業。