冷凍機-工業冷凍機-高低溫一體機
帕爾貼熱電型chiller
TEC熱電型chiller
LNEYA 帕爾貼熱電的CHILLER溫度范圍從-20到90℃,專為半導體行業度身定制-20℃90℃快速和精確的溫度控制，能夠滿足任何嚴苛的工藝要求基于經過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理，lneya帕爾貼溫度控制系統能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制。對于靜電卡盤(ESC)動態的溫度控制，使得其能夠應用于所有類型的刻蝕工藝。高效節能，節省空間，同時還能夠穩定的控制溫度
重要功能和優勢
·高可靠性和低使用成本
·工業空間占用率小
·極低的導熱液填充量
·低能耗，沒有壓縮機和制冷劑的系統，同時只有在有負載時輸出，大幅度降低能耗
制熱、直冷時，冷熱部件沒有與導熱液直接接觸
·動態控溫，精準控制過程溫度，快速溫度響應
·溫度漂移保護功能使得刻蝕的輪廓更加穩定
·改善Wafer-Wafer的穩定性
·模塊化部件使得維修更加方便
·使用全氟液體
| 型號 | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| 溫度范圍 | -20℃~90℃ | |||
| 控溫精度 | ±0.1℃ | |||
| 制冷能力 | 20℃ | 1200W | 2450W | 4500W |
| 10℃ | 900W | 1925W | 3500W | |
| 0℃ | 600W | 1400W | 2600W | |
| -10℃ | 350W | 875W | 1600W | |
| -20℃ | 80W | 350W | 700W | |
| 制熱能力 | ＞3000W | ＞6000W | ＞12000W | |
| 泵類型 | 直流磁力泵 | |||
| 壓力（bar） | ≤4 | |||
| 流量 | 15L/min at 2bar | |||
| 流體 | Galden HT135 | |||
| 冷卻水溫度 | DI＜20℃ | |||
| 冷卻水流量 | ≥12L/min | ≥20L/min | ≥32L/min | |
| CDA開啟溫度 | ＜30℃ | |||
| CDA壓力 | 0.5-0.8bar | |||
| CDA流量 | 2-3m3/h | |||
| CDA露點溫度 | ≤30℃ | |||
| 電源電壓 | AC208V,三相電壓 | |||
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