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高低溫循環測試機/熱流儀

伊涅亞阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:15:55 +0000

高低溫循環測試機/熱流儀

溫控精度±0.5℃/±1℃
壓縮機法國泰康/艾默生谷輪渦旋柔性壓縮機
制冷劑R404A/R23/R508B/R14
節流方式電子膨脹閥
蒸發器板式換熱器
電源 50HZ max3.7KW 220V~7.5KW 380V

工作原理：
1、試驗機輸出氣流罩將被測試品罩住，形成一個較密閉空間的測試腔，試驗機輸出的高溫或低溫氣流，使被測試品表面溫度發生劇烈變化，從而完成相應的高低溫沖擊試驗；

冷熱循環沖擊氣流測試機為確保閃存可在極端溫度環境(例如: 油氣探勘、重工業以及航空領域)可正常實現穩健的閃存讀／寫操作功能，因此在出廠前需要進行溫度測試，冷熱循環沖擊氣流測試機海外產品名稱：ThermoStream,ThermoJet,Thermalair,Temptronic,Thermonics

對比于傳統的溫箱,有以下幾個特征:
溫度范圍：-120℃~+300℃
升降溫速率非常快速，150℃~-55℃＜10秒
最大氣流量：30m3/h
實時監控被測IC真實溫度，實現閉環反饋，實時調整氣體溫度;
升降溫時間可控，程序化操作、手動操作、遠程控制
測試條件：環境溫度20℃，30m3/h,5Bar，壓縮空氣或氮氣

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多通道水冷機chiller

伊涅亞阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:15:45 +0000

多通道水冷機chiller

多通道獨立控溫，可以具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質流量等，采用獨立的兩套系統，根據所需的溫度范圍選擇采用蒸汽壓縮制冷，或者采用ETCU無壓縮機換熱系統，系統可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統等，可以有效減少設備尺寸，減少操作步驟。

型號	FLTZ-203W-2T
管道	通道1	通道2
溫度范圍	-20℃～+90℃	-20℃～+90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備）
制冷量	4kW@-10℃	4kW@-10℃
加熱能力	2kW	2kW
流量/壓力 MAX	20L/min 0.5MPa	20L/min 0.5MPa
導熱介質接口	Rc3/4	Rc3/4
環境溫度	10～35℃	10～35℃
環境濕度	30～70%	30～70%
冷卻水溫度	15～20℃	15～20℃
冷卻水流量	20L/min	20L/min
斷路器	30A
?藝過程溫度控制	可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫）
重量	400kg
外形尺寸 cm	5090160

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帕爾貼熱電型chiller

伊涅亞阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:15:36 +0000

帕爾貼熱電型chiller

TEC熱電型chiller

LNEYA 帕爾貼熱電的CHILLER溫度范圍從-20到90℃,專為半導體行業度身定制-20℃90℃快速和精確的溫度控制，能夠滿足任何嚴苛的工藝要求基于經過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理，lneya帕爾貼溫度控制系統能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制。對于靜電卡盤(ESC)動態的溫度控制，使得其能夠應用于所有類型的刻蝕工藝。高效節能，節省空間，同時還能夠穩定的控制溫度

重要功能和優勢
·高可靠性和低使用成本
·工業空間占用率小
·極低的導熱液填充量
·低能耗，沒有壓縮機和制冷劑的系統，同時只有在有負載時輸出，大幅度降低能耗
制熱、直冷時，冷熱部件沒有與導熱液直接接觸
·動態控溫，精準控制過程溫度，快速溫度響應
·溫度漂移保護功能使得刻蝕的輪廓更加穩定
·改善Wafer-Wafer的穩定性
·模塊化部件使得維修更加方便
·使用全氟液體

型號		TEC-1200W	TEC-2500W	TEC-4500W
溫度范圍		-20℃~90℃
控溫精度		±0.1℃
制冷能力	20℃	1200W	2450W	4500W
	10℃	900W	1925W	3500W
	0℃	600W	1400W	2600W
	-10℃	350W	875W	1600W
	-20℃	80W	350W	700W
制熱能力		＞3000W	＞6000W	＞12000W
泵類型		直流磁力泵
壓力（bar）		≤4
流量		15L/min at 2bar
流體		Galden HT135
冷卻水溫度		DI＜20℃
冷卻水流量		≥12L/min	≥20L/min	≥32L/min
CDA開啟溫度		＜30℃
CDA壓力		0.5-0.8bar
CDA流量		2-3m3/h
CDA露點溫度		≤30℃
電源電壓		AC208V,三相電壓

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接觸式高低溫測試機

伊涅亞阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:15:31 +0000

接觸式高低溫測試機

設備應?溫度范圍-75~200℃，?持從極低溫到?溫的快速升溫和降溫。最快速率可達到75℃/min。

能夠精確的控制溫度，誤差通常在±0.2℃以內。
應?于芯?研發：在芯?設計階段，驗證其在不同溫度下的性能表現。
質量控制：在芯??產過程中，進?可靠性測試，確保產品符合標準。
失效分析：通過?低溫測試，分析芯?在極端溫度下的實效模式

設備型號		KSD-705-A	KSD-705-B	KSD-710
溫度范圍		-70℃~+200℃	-75℃~200℃	-75℃~200℃
溫度精度		±0.2℃
升降溫速率		最高達75℃/min
制冷能力	0℃	800W	1000W	2000W
	-40℃	500W	800W	1500W
	-55℃	300W	450W	900W
測試壓頭規格		75*75mm	75*75mm	120*120mm
溫度監測類型		T型/K型/PT100
控溫點位置		Plunger 表面溫度
操控?板		7寸觸摸屏
控制器		PLC可編程控制器，標配支持ModbuSRTU協議，RS485接口，可選擇其他通信協議
電源		200v~230v 50hz/60hz
設備外形尺?mm		465600365	500600400	550750550
測試件受?調節		配置 Z軸氣動執行器	配置 Z軸氣動執行器	測試架外置氣缸
CDA要求		配置 LNEYA Dryer 氣體干燥器系列
通訊		Madbus RTU /TCP 、Prfibus DP 、CAN 、Rrofinet

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AET系列氣體快速溫變測試機

伊涅亞阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:15:25 +0000

AET系列氣體快速溫變測試機

壓縮空?進??體快速溫變測試機，內置有?燥器，預先把?體?燥到露點溫度-70度以下，進?制冷加熱控溫輸出穩定流量壓

?恒溫的?體，對?標對象進?控溫（如各類控溫卡盤、腔體環境、熱沉板、料梭、腔體、電?元件等），可根據遠程卡盤上的溫度傳感器進??藝過程控溫，?動調節輸出?體的溫度。

精密恒溫恒濕機組

伊涅亞阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:15:17 +0000

精密恒溫恒濕機組

1、溫度和濕度控制可適用于不同的設定溫度下，亦可以在一個固定的使用溫、濕度下恒定工作。
2、機組可以根據實際情況，配比一定的新風量以滿足暖通新風要求。
3、精密型恒溫恒濕機組使用新、回風溫濕度范圍。
4、在最大額定工藝風量下運行時，送風機出口側空氣出口處的恒定靜壓；也可以根據末端是否配置有FFU調整 5、40°f相當于的400ppm 的CaCO3 。
6、冷卻水水質要求：不低于《工業循環冷卻水處理設計規范》GB50050-95 7、送風管道必須保溫處理，現場安裝盡可能的縮短管路長度，有關可能的詳細信息，請參閱操作手冊

產品型號		LW-0090-BW01	LWX-0090-BW01	LW-0100-BW01	LWX-0100-BW01
額定處理風量	m3/h	8000～9000		9000～10000
可設定溫濕度范圍	℃/ %RH	22～24	22～23;45%RH～60%RH	22～24	22～24；45%RH～70%RH
溫度控制精度	℃	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備）
濕度控制精度	%RH	/	±1%RH	/	±1%RH
最大制冷量	kW	20kW @25℃		16kW @26℃
最大加濕能力	Kg/h	/	5	/	2.3
新風比 ②		20%	20%	/	/
設備新風溫、濕度范圍	℃/ %RH	23±2℃；；45%～60%±2%RH		25℃; 45%～60%±2%RH
設備回風溫、濕度范圍	℃/ %RH	23±0.1；45%RH ±2%RH		/
最大機外送風靜壓	Pa	300～400		0～200
送風口接管直徑	mm	φ500		φ500
加濕供水溫度范圍	℃	/	10～40	/	10～40
加濕補水管接口	/	/	Rc1/2	/	Rc1/2
加濕補水壓力值	bar	/	1～4	/	1～4
水質要求	/	/	導電率75～1250μs/cm 水硬度不高于40°f *無有機化合物	/	導電率75～1250μs/cm 水硬度不高于40°f *無有機化合物
冷卻水溫度	℃	18～22		18～22
冷卻水接管		Rc1		Rc1
電源供應	V/Hz	3～380v±10%; 50Hz±5Hz 三相五線制
機組額定輸入功率	kW	12.5	12.5	4	4
機組運行最大電流值	A	23	23	7	7
機組噪音值	dB(A)	≤80		≤75
機組最大輸入功率	kWA	15		8
冷媒/充注量	Kg	R410A/5		R410A/4
安全保護功能		電源過欠壓、逆缺相保護；電機過熱載保護；壓縮機排氣溫度過高保護、系統高壓保護、系統低壓保護、溫度模塊故障保護、可調式超溫保護，風機電機過熱保護等
機組凈重	Kg	750	800	650	680
機組毛重	Kg	800	850	700	750
機組外形尺寸(LBH)	cm	213100200		120120195
機組包裝尺寸(LBH)	cm	230115210		135135205

迷你型精密恒溫恒濕機組（風冷）

伊涅亞阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:15:06 +0000

迷你型精密恒溫恒濕機組（風冷）

1、溫度和濕度控制范圍并不一定代表實際可控制的范圍。實際可控制的溫度和濕度范圍取決于進氣溫度和濕度以及工藝風量。根據操作環境設置工藝風量。
2、對于M01/02系列，當進氣溫度和濕度穩定時。控制器上顯示的精度值僅適用于出口端的一點；同時是在最大額定風量下運行時。對于M03系列，在以額定工藝風量（3 m3/min）運行時，開始運行后大約2分鐘內，由于壓縮機油回流，溫度會暫時波動。此外，如果目標濕度較高，并且根據加濕水供應的時間不同，可能無法維持之前提到的精度。在這種情況下，通過調整與供水相關的參數，可以減少波動量。
3、在最大額定工藝風量下運行時，送風機出口側空氣出口處的恒定靜壓。
4、將產品插入專用插座以防止電壓下降，三相電源電壓相位不平衡應小于±3 %。
5、在指定范圍內最大工作電流下運行時。
6、冷卻水水質要求：不低于《工業循環冷卻水處理設計規范》GB50050-95；備注 40°f相當于的400ppm 的CaCO3 。 7、高度包括出口端。所示數值是在指定最大加濕水平運行時的。有關可能的詳細信息，請參閱操作手冊備注：送風管道必須保溫處理，現場安裝盡可能的縮短管路長度（最大長度不超過3m)

產品型號		LMW-01BS	LMWX-01BS	LMW-03BT	LMWX-03BT
額定處理風量	m3/min	0.7～1.0		2.0～4.0
可設定溫濕度范圍	℃/ %RH	21～26	21～26;45%RH～60%RH	21～26	21～26；45%RH～60%RH
溫度控制精度	℃	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備）
濕度控制精度	%RH	/	±1.0%RH	/	±1.0%RH
最大制冷量(50/60Hz）	kW	0.2/0.25	0.37/0.45	1.3	1.3
再熱能力(50/60Hz）	kW	0.1/0.13	0.4	0.5	0.7
最大加濕能力	Kg/h	/	0.8	/	2.3
加濕供水溫度范圍	℃	/	10～40	/	10～40
加濕補水管接口	/	/	Rc1/2	/	Rc1/2
加濕補水壓力值	bar	/	0.3～2	/	0.3～2
水質要求	/	/	導電率125～1250μs/cm 水硬度不高于40°f *無有機化合物	/	導電率125～1250μs/cm 水硬度不高于40°f *無有機化合物
最大機外送風靜壓	Pa	120/130	120/160	110/150	110/150
送風口接管直徑	mm	φ75	φ100	φ100	φ100
設備使用環境溫度	℃/ %RH	20～26；45%RH～60%RH
使用環境溫度精度范圍	℃/ %RH	±1；±5%RH
電源供應	V/Hz	1～220v±10%; 50/60Hz±5Hz		3～380v±15%; 50Hz±5Hz
機組額定輸入功率	kW	0.32/0.34	1.2/1.2	0.75	2.7
機組運行最大電流值	A	1.7/1.82	6.4/6.4	1.35	4.8
機組噪音值(50/60Hz）	dB(A)	54/56	58/60	65	66
機組最大輸入功率	kWA	0.34/0.38	1.5/1.5	1.4	4
冷媒/充注量	Kg	R134A/0.13	R407C/0.3	R410A/0.4	R410A/0.48
機組凈重	Kg	32	69	95	135
機組毛重	Kg	40	85	110	150
機組外形尺寸(LBH)	cm	5041.234.6	633976.5	5948107	6852135
機組包裝尺寸(LBH)	cm	605040	755085	7060120	7865140

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負壓循環溫控設備

伊涅亞阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:14:59 +0000

負壓循環溫控設備

負壓型控溫系統通過負壓環境下的流體循環實現精準溫度控制，原理：通過負壓發?器驅動導熱介質（?/油）循環，避免泄漏?險，適?于各種類型板卡冷卻。

核?技術與優勢

防泄漏設計

系統運?時管路處于負壓狀態，即使管道破裂也不會泄漏?

溫介質，安全性?。

?效節能

全密閉循環，閉式循環，減少熱能損耗。

精準控溫

采?PID算法或PLC控制，實現溫度波動≤±0.3℃，適?于精

密制造場景。

多場景適配

?持純?、氟化液、??醇?溶液等不同介質，控溫范圍從常

溫到80度

設備名稱		負壓循環溫控設備
設備型號		ZLFQ-80
額定換熱量		80kW
一次側（介質側）	工作介質	介質側純水、氟化液、乙二醇水溶液等
	額定流量	300L/MIN
	儲液容積	120L
	供回液溫度	25/35℃
	溫控精度	±0.3℃
	真空泵抽氣量	130m3/h
	負壓壓頭	70KPA
	內循環泵配置	1+1冗余
	接口尺寸	Rc1 1/4
二次側（冷卻側）	冷卻介質	PCW
	冷卻流量	6m3/h
	過濾精度	50um
	接口尺寸	Rc1
控制系統		PLC控制器，前饋調節+控滯后PID算法
通訊協議		RS485串口MODBUS RTU協議/以太網接口TCP/IP協議
供液泄露率		負壓循環無泄漏
安全防護		具有自我診斷功能；設備過載保護；低液位保護等
其他功能		自動泄露檢測、自動排液、自動補液等功能
電源		AC220V/50HZ，8A(max)
外形尺寸 cm		130(L)70(W)185(H)

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壓縮空氣干燥器

伊涅亞阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:14:51 +0000

壓縮空氣干燥器

應用于傳感器、半導體制造、薄膜和包裝材料執照、粉狀物料運輸、噴涂系統、食品行業、制藥行業等需要實現-80℃低露點干燥和清潔的分布式氣源。
額外過濾油分和顆粒物，氣流經過過濾等級 0.01 μm的預過濾器，防止干燥劑被塵埃和油（油會極大縮短干燥劑的使用壽命）污染
壓縮空氣干燥器由多組灌裝了干燥劑的濾芯組成。氣霧狀壓縮空氣交替流經多組濾芯，空氣中的水分就會聚集在干燥器的表面。過濾過程達到預先確定的持續時間后氣流就會切換到其它濾芯，而一部分氣流（沖放氣流）就會被用來重新發生第一個濾芯的干燥器。沖放氣流會釋放到大氣中。干燥劑的使用壽命約為 15000 個工作小時。

壓縮空氣干燥器
型號	DR-500	DR-1000	DR-2000
壓力范圍	0.65～1.0Mpa
露點溫度	-70℃
處理氣量	650L/Min	1300L/Min	2500L/Min
成品氣量	500L/Min	1000L/Min	2000L/Min
接口尺寸	Rc1/2	Rc3/4	Rc1
電源功率	220V 15W
尺寸 cm	3522132	3558132	70120132

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半導體控溫裝置

伊涅亞阿登迪 — Sun, 08 Oct 2023 06:19:45 +0000

半導體控溫裝置

半導體溫控裝置Chiller

溫控精度±0.1℃
溫度范圍5℃~40℃
制冷劑R410A
內循環液容積4L~20L
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等
電源 380V3.5KW~16KW

型號	FLT-002 FLT-002W	FLT-003 FLT-003W	FLT-004 FLT-004W	FLT-006 FLT-006W	FLT-008 FLT-008W	FLT-010 FLT-010W	FLT-015 FLT-015W
溫度范圍	5℃～40℃
控溫精度	±0.1℃
流量控制	10～25L/min ?5bar max		15～45L/min ?6bar max			25～75L/min ?6bar max
制冷量@10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
內循環液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R410A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等 ?（DI溫度需要控制10℃以上）
進出接口	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
冷卻水口	G1/2	G1/2	G3/4	G1	G1	G1	G1 1/8
冷卻水流量@20℃	1.5m3/h	2m3/h	2.5m3/h	4m3/h	4.5m3/h	5.6m3/h	9m3/h
電源380V	3.5kW	4kW	5.5kW	7kW	9.5kW	12kW	16kW
溫度擴展	通過增加電加熱器，擴展-25℃～80℃

型號	FLT-202 FLT-202W	FLT-203 FLT-203W	FLT-204 FLT-204W	FLT-206 FLT-206W	FLT-208 FLT-208W	FLT-210 FLT-210W	FLT-215 FLT-215W
溫度范圍	-25℃～40℃
控溫精度	±0.1℃
流量控制	10～25L/min ±0.3		15～45L/min ±0.3			25～75L/min ±0.3
流量控制	流量控制采用變頻器調節，循環泵zui大壓力5bar
制冷量 @-15℃	2kw	3kw	3.8kw	6kw	7.6kw	10kw	15kw
內循環液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R404A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進出接口	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
冷卻水接口	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G1	G1	G1 1/8
冷卻水流量@20℃	1.2m3/H	1.6m3/H	2.6m3/H	3.6m3/H	5.5m3/H	7m3/H	10.2m3/H
電源380V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
溫度擴展	通過增加電加熱器，擴展-25℃～80℃

型號	FLT-402 FLT-402W	FLT-403 FLT-403W	FLT-404 FLT-404W	FLT-406 FLT-406W	FLT-408 FLT-408W	FLT-410 FLT-410W	FLT-415 FLT-415W
溫度范圍	-45℃～40℃
控溫精度	±0.1℃
流量	10～25L/min ?5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
制熱	采用壓縮機制熱，防止冷凝器結霜技術
制冷量 @-35℃	1kw	1.4kw	1.8kw	2.5kw	3.3kw	5kw	8kw
內循環液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R404A
載冷劑	硅油、氟化液、乙醇水溶液等
進出接口尺寸	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G3/4
冷卻水接口	G1/2	G3/4	G3/4	G1	G1	G1	G1 1/8
冷卻水流量@20℃	1.5m3/H	2.4m3/H	3.5m3/H	5m3/H	5.5m3/H	6m3/H	8m3/H
電源380V	3KW	4KW	6KW	7.5KW	9KW	12KW	15KW
溫度擴展	通過增加電加熱器，擴展-25℃～80℃

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