【產(chǎn)品介紹】二次換熱型TCU控溫系統(tǒng)SR系列

2024年9月24日 489

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晶圓制造領(lǐng)域控溫chiller應(yīng)用案例

2025年2月27日 243

在晶圓制造領(lǐng)域，晶圓制造領(lǐng)域控溫chiller的應(yīng)用比較重要，因?yàn)闇?zhǔn)確的溫度控制能夠確保晶圓加工過(guò)程中的質(zhì)量和產(chǎn)量。以下晶圓制造領(lǐng)域控溫chiller是一些具體的應(yīng)用案例： 案例一：光刻過(guò)程中的溫度控制 應(yīng)用描述：光刻是晶圓制造中的關(guān)鍵步驟，需...

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Chiller 換熱型 系統(tǒng)無(wú)壓縮機(jī)

2023年10月8日 1541

冷卻能力5KW~30KW溫度范圍冷卻水溫度+5℃~90℃ ±0.3℃儲(chǔ)罐容積6L~15L尺寸480*750*390/480*750*500

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半導(dǎo)體Chiller設(shè)備溫控技術(shù)在晶圓制造工藝中的應(yīng)用實(shí)踐

2025年7月25日 208

在晶圓制造過(guò)程中，半導(dǎo)體Chiller設(shè)通過(guò)制冷與加熱的動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)，為晶圓制造各環(huán)節(jié)提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境，其核心作用是維持工藝過(guò)程中溫度的準(zhǔn)確控制，避免因溫度波動(dòng)導(dǎo)致的圖形轉(zhuǎn)移偏差、薄膜均勻性下降等問(wèn)題。

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