雙通道直冷機在半導體封裝測試中快速響應與高低溫測試
在半導體封裝測試環節,溫度控制的準確性與穩定性直接影響產品良率與測試效率。雙通道直冷機作為一種新型溫控設備,憑借其并行溫控能力,在該領域得到了廣泛應用。

雙通道直冷機的核心原理在于將制冷系統中的制冷劑直接輸出至目標控制元件的換熱器進行換熱,從而實現對控制對象的快速降溫。相較于傳統的流體或氣體換熱方式,其換熱的能力通常可有所提升,尤其適用于換熱面積小但換熱量大的場景。該設備采用雙系統設計,兩個單獨的制冷回路可分別針對不同測試工位進行溫度調控,每個通道均配備單獨的壓縮機、膨脹閥及溫度傳感器,確保溫控過程的單獨性與準確性。
在并行溫控優勢方面,首先體現在溫度控制的同步性上。半導體封裝測試中,常需對同一批次的多個芯片或模塊進行相同或不同溫度條件的測試。雙通道直冷機可通過兩個通道同時輸出不同的目標溫度,如一個通道維持零下低溫環境,另一個通道保持常溫環境,且每個通道的控溫精度高,滿足不同測試場景的嚴苛要求。
其次,該設備具備快速響應能力。其采用的電子膨脹閥可根據實時溫度反饋迅速調節制冷劑流量,配合PLC控制器及模糊PID算法,能夠實現溫度的快速升降。在從常溫切換至低溫環境時,設備可在短時間內完成溫度過渡,且波動幅度控制在允許范圍內,縮短測試周期。
再者,雙通道設計具有方便的操作方式。操作員可通過彩色觸摸屏分別設定兩個通道的溫度、壓力及運行時間等參數,并實時監控各通道的運行狀態。同時,設備支持以太網接口的TCP/IP協議,可接入工廠的中控系統實現遠程控制與數據記錄,便于批量測試的集中管理。
在應用實踐中,雙通道直冷機已廣泛用于半導體封裝后的高低溫沖擊測試、熱循環測試等環節。在芯片封裝測試廠中,該設備同時對兩個批次的芯片進行寬泛的溫度循環測試,每個通道單獨記錄溫度變化曲線,測試完成后可通過U盤導出Excel格式的數據,為產品可靠性分析提供準確依據,滿足了部分特殊芯片的苛刻環境測試需求。
設備的安全性能同樣值得關注。其配備了相序斷相保護、壓力保護及過載繼電器等多重安全裝置,當某一通道出現異常時,系統會自動切斷該通道的運行并發出警告信號,不影響另一通道的正常工作,確保測試過程的連續性與安全性。
雙通道直冷機通過并行溫控設計、換熱的能力及靈活的操作方式,在半導體封裝測試中展現出應用價值。其不僅提升了測試效率與數據準確性,也為半導體行業的高質量發展提供了可靠的溫控解決方案。

雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,公司在系統中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),顯著提升系統的響應速度、控制精度和穩定性。
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單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度精準控制,公司在系統中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實現系統快速響應、較高的控制精度。
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三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度精準控制,系統支持三個通道獨立控溫,每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質流量等。
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