面板冷水機的核心技術優勢體現在其寬域溫度調節能力上。這類設備可滿足不同工藝階段對溫度的嚴苛要求。在單機復疊制冷技術的支持下，單個壓縮機即可實現低溫的制冷效果；而單一介質控溫技術則實現了連續溫度調節，無需中途更換導熱介質，大幅提升了工藝連續性。
其制冷循環系統采用全密閉設計，配備磁力驅動泵，結合氦檢測與連續運行拷機測試，確保了系統運行的安全性與可靠性。在結構設計上，設備采用微通道換熱器與板式換熱器組合模式，搭配電子膨脹閥實現準確節流控制，進一步提升了溫度調節的響應速度與穩定性。在半導體制造的多個關鍵環節，面板冷水機均發揮著作用。在芯片測試階段，可提供寬泛的控溫范圍并快速溫控變化環境，升降溫速率快，可模擬芯片在苛刻溫度條件下的工作狀態，驗證其可靠性。在工藝廢氣處理方面，廢氣冷凝回收裝置通過二次過冷技術，將廢氣引入設備后通過低溫液化實現有害物質的捕集分離。該裝置采用板式換熱器設計，具備體積小、換熱效率高的特點，同時配備PLC控制系統與彩色觸摸屏，可實時顯示溫度、壓力曲線并記錄相關數據，確保廢氣處理過程的可控性。
半導體水冷機的技術特性還體現在智能化控制與系統集成能力上。設備采用PLC可編程控制器，結合PID、前饋PID及無模型自建樹等多種算法，實現溫度的快速響應與準確調控。操作界面采用彩色觸摸屏，支持溫度曲線顯示與Excel數據導出，方便操作實時監控與數據追溯。
在通信功能方面，設備標配以太網接口TCP/IP協議與RS485接口Modbus RTU協議，可實現遠程操控及運行狀態監測。通過觸點輸入/輸出模塊，能對設備的警告信息與運行狀態進行分類輸出，便于與工廠整體控制系統集成。部分機型還支持變頻調節技術，循環泵與壓縮機均可根據系統壓力、溫度、流量等參數自動調節運行狀態，確保在不同負載條件下的穩定運行。
針對不同應用場景的需求，面板冷水機形成了豐富的產品矩陣。直冷型制冷機組通過將制冷劑直接通入目標控制元件進行換熱，換熱的能力較傳統流體輸送方式有所提升，特別適用于換熱面積小但換熱量大的場景；低溫氣體制冷機可將干燥壓縮空氣、氮氣等常溫氣體降溫，為特殊測試環境提供低溫氣源，滿足高功率密度芯片測試過程中的散熱需求。在維護與服務保障方面，設備在出廠前均經過嚴格的負載測試，確保交付狀態的穩定性。
面板冷水機通過不斷迭代的制冷技術、智能化的控制手段與多樣化的產品形態，為芯片制造全過程提供了可靠的溫度控制解決方案。其在溫度調節精度、系統集成能力與運行穩定性等方面的技術突破，保障了半導體生產的良率與效率。
雙通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，公司在系統中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統的響應速度、控制精度和穩定性。
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ZLTZ直冷控溫機組Chiller
ZLTZ直冷控溫機組Chiller適合應?于微通道反應器、板式換熱器、冷板、熱沉板、管式反應器等換熱?積?、制冷量?、溫差?的控溫需求場所；設備可?動回收導熱介質；
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LTZ變頻系列低溫冷凍機組
適用范圍 LTZ系列低溫冷凍機采用變頻技術，節約能耗，控溫范圍：-115℃～30℃，控溫精度：±0.5℃。變頻壓縮機組通過內置變頻裝置隨時根據??冷熱負荷需求改變直流壓縮機的運?轉速，從?避免壓縮機與電加熱滿負荷對抗，保持機組穩定的?作狀態，達到節能效果。 產品特點 Product Features 產品參數 Product Param…
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HLTZ系列氫氣高效換熱制冷機組
適用范圍 氫氣經過內高壓換熱器，制冷系統通過制冷劑直接與氫氣換熱，實現高效換熱控溫；設備本體采用正壓防爆系統，正壓系統內置有恒溫器，確保系統環境維持在常溫。相對于傳統防凍液或其他流體與氫氣換熱，本設備采用介質為制冷系統制冷劑（相變熱），能效更高；內置有可再生干燥機，確保正壓系統內部干燥，沒有冷凝水；可與耐高壓微通道換熱器或殼管換熱器（9…
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2度純水DI制冷控溫機組
適用范圍 特別適合生產過程中2℃~5℃DI水需求的應用場景。 產品特點 Product Features 產品參數 Product Parameter 行業應用 APPLICATION 新材料|特氣生產控溫解決方案 新材料，作為新近發展或正在發展的具有優異性能的結構材料和有特殊性質的功能材料，其研發和生產過程對溫度控制有著…
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單通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度精準控制，公司在系統中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現系統快速響應、較高的控制精度。
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三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度精準控制，系統支持三個通道獨立控溫，每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質流量等。
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ZLJ/SLJ系列超低溫直冷機
適用范圍 將制冷系統中的制冷劑直接輸出蒸發進??標控制元件（換熱器）換熱，從?使?標控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體（?體）輸送?換熱器換熱能?更??般在5倍以上，這樣特別適?于換熱器換熱?積?，但是換熱量?的運?場所。 也可以如?體捕集運?，將制冷劑直接通?捕集器蒸發，通過捕集器表?冷凝效應，迅速捕集空間中的?體。 …
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真空控溫卡盤Chuck
冠亞恒溫LNEYA真空控溫卡盤Chuck提供8寸卡盤、12寸卡盤以及非標定制方形冷板，支持-70~+200℃寬溫度范圍，也可以定制各種其他溫度范圍，內置多個溫度傳感器，多區控溫，精確FID調節控溫；支持直冷、液冷、?冷；
詳細信息面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller應?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保極端?況下持續穩定運?；支持冷卻?動態調節系統，可根據環境溫度與設備熱負荷，實時調節?溫。
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帕爾貼Chiller
冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導體行業度身定制； 基于經過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理，帕爾貼溫度控制系統能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制；
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