產品參數
Product Parameter
| 型號 | FLTZ-203W-2T | |
| 管道 | 通道1 | 通道2 |
| 溫度范圍 | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | |
| 制冷量 | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| 加熱能力 | 2kW | 2kW |
| 流量/壓力 MAX | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
| 導熱介質接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 環境溫度 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 環境濕度 | 30～70% | 30～70% |
| 冷卻水溫度 | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷卻水流量 | 20L/min | 20L/min |
| 斷路器 | 30A | |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫） | |
| 重量 | 400kg | |
| 外形尺寸 cm | 50*90*160 | |
| 型號 | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| 管道 | 通道1 | 通道2 |
| 溫度范圍 | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| 溫度穩定度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | |
| 冷卻能力 | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ |
13kW@+10℃ |
| 加熱能力 | 2kW | 6kW |
| 流量/壓力 MAX | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| 導熱介質接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 環境溫度 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 環境濕度 | 30～70% | 30～70% |
| 冷卻水溫度 | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷卻水流量 | 40L/min | 20L/min |
| 斷路器 | 80A | |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫） | |
| 重量 | 550kg | |
| 外形尺寸 cm | 60*100*185 | |
| 型號 | FLTZ-203W/2T雙系統 | FLTZ-305W/2T? 雙系統 | FLTZ-406W/2T? 雙系統 | |||
| 溫度范圍 | -20℃~90℃ | ?-30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | |||||
| 流量/壓力 MAX | 15~45L/min 6bar | |||||
| 制熱 | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 制冷量 | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
| 內循環液容積 | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| 膨脹罐容積 | 15L | 25L | 25L | |||
| 導熱介質 | 氟化液、防凍液、導熱硅油等 | |||||
| 制冷劑 | R404A/ R448 | |||||
| 導熱介質接口 | Rc3/4 | |||||
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | |||||
| 冷卻水 | 50L/min at20℃ | 60L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| 電源 | 三相220V? /? 三相400V? /三相460V | |||||
| ?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫） | |||||
| 型號 | FLTZH-5W/2T | ||
| 介質溫度范圍 | 40℃～+250℃ | ||
| 控制系統 | PLC控制器 | ||
| 溫控點控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 本體回液口溫度控制模式 CHUCK入口溫度控制模式（通信） CHUCK回口溫度控制模式（通信） CHUCK本體溫度控制模式（通信） |
||
| 溫差控制 | 可設定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差 | ||
| 通信協議 | MODBUS RTU 協議 ?RS485接口，以太網接口 | ||
| 外接入溫度反饋 | 通過通信 | ||
| 介質出口溫控精度 | ±0.1℃ | ||
| CHUCK溫控精度 | ±0.5℃ | ||
| 加熱功率 | 5.5kW | 5.5kW | |
| 冷卻能力 kW? AT | 250 ℃ | 5.5kW | 5.5kW |
| 150 ℃ | 5kW | 5kW | |
| 100 ℃ | 4kW | 4kW | |
| 50 ℃ | 2kW | 2kW | |
| 流量/壓力 | 8L/min 4bar | 8L/min 4bar | |
| 操作面板 | 7寸觸摸屏 | ||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電流監控、漏水報警、加熱系統三重保護、進出液口壓力監控及斷流保護 | ||
| 密閉循環系統 | 整個系統為全密閉系統，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫自動補充導熱介質。 | ||
| 接口尺寸 | Rc1/2 | Rc1/2 | |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | ||
| 冷卻水流量 | 10L/min max? at 25℃ | ||
| 導熱介質 | 氟化液 | ||
| 外形尺寸 cm | 45*85*145（可定制化） | ||
| 重量kg | 約40KG | ||
| 電源 | 220V 三相四線制 32A | ||
| 外殼材質 | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||
額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出?溫度：25℃。
Chiller高精度冷熱循環器
適用范圍
FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度精準控制，公司在系統中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現系統快速響應、較高的控制精度。
Chillers的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統進行全面管理監控記錄。
加載情況下控溫精度高，可在-100℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性；先進的低溫制冷技術，支持-100℃~ -80℃超低溫控溫。
產品參數
Product Parameter
FLTZ? 5℃～90℃
| 型號 | FLTZ-002 FLTZ-002W |
FLTZ-003 FLTZ-003W |
FLTZ-004 FLTZ-004W |
FLTZ-006 FLTZ-006W |
FLTZ-008 FLTZ-008W |
FLTZ-010 FLTZ-010W |
FLTZ-015 FLTZ-015W |
| 溫度范圍 | 5℃～90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | ||||||
| 制冷量at10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| 內循環液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R410A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純凈水等（純凈水溫度需要控制10℃以上） | ||||||
| 進出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/h | 2m3/h | 2.5m3/h | 4m3/h | 4.5m3/h | 5.6m3/h | 9m3/h |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫） | ||||||
| 外形尺寸 cm | 95*38*106 | 95*38*106 | 950*380*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
FLTZ? -25℃～+90℃
| 型號 | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| 溫度范圍 | ?-25℃～90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | ||||||
| 流量 MAX | 10～25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| 制冷量at-15℃ | 2kW | 3kW | 3.8kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| 內循環液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R404A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||||||
| 進出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.2m3/H | 1.6m3/H | 2.6m3/H | 3.6m3/H | 5.5m3/H | 7m3/H | 10.2m3/H |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫） | ||||||
| 外形尺寸 cm | 95*38*106 | 95*38*106 | 95*38*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
FLTZ? -45℃～+90℃
| 型號 | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| 溫度范圍 | ?-45℃～90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | ||||||
| 流量/壓力 MAX | 10～25L/min? 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| 制熱 | 采用壓縮機制熱，防止冷凝器結霜技術 | ||||||
| 制冷量at-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1.8kW | 2.5kW | 3.3kW | 5kW | 8kW |
| 內循環液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R404A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙醇水溶液等 | ||||||
| 進出接口尺寸 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/H | 2.4m3/H | 3.5m3/H | 5m3/H | 5.5m3/H | 6m3/H | 8m3/H |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫） | ||||||
| 外形尺寸 cm | 95*38*106 | 95*38*106 | 95*38*106 | 98*43*140 | 98*43*140 | 108*50*150 | 108*50*150 |
FLTZ? -80℃～+90℃
| 型號 | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| 溫度范圍 | ?-80℃～+90℃ | ||||
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | ||||
| 流量/壓力 MAX | 7～25L/min? 5bar | 12～45L/min 6bar | |||
| 制冷量at-70℃ | 0.6kW | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW |
| 加熱功率 | 2kW | 2kW | 2kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 內循環液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| 導熱介質 | 氟化液 | ||||
| 進出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水at20℃ | 1.8m3/h | 2.5m3/h | 3m3/h | 5m3/h | 6m3/h |
| 斷路器 | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫） | ||||
FLTZ? -100℃～+90℃
| 型號 | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| 溫度范圍 | ?-100℃～+90℃ | |
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | |
| 流量 MAX | 7～25L/min | 12～45L/min |
| 制冷量at-90℃ | 1.5kW | 3kW |
| 加熱功率 | 3.5kW | 5.5kW |
| 內循環液容積 | 5L | 8L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 15L |
| 導熱介質 | 氟化液 | |
| 導熱介質接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水接口 | Rc3/4 | Rc1 |
| 冷卻水at20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| 斷路器 | 32A | 63A |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫） | |
| 型號 | FLTZ-001S | FLTZ-002S FLTZ-002WS |
FLTZ-003S FLTZ-003WS |
FLTZ-004S FLTZ-004WS |
FLTZ-006S FLTZ-006WS |
?FLTZ-008WS | FLTZ-010WS |
| 溫度范圍 | 15℃～25℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.005℃? 設備出口溫度控制精度 | ||||||
| 流量 | 7L/min 3bar | 15L/min? at 4bar | 30L/min at 4bar | 75L/min? at? 4bar | |||
| 制熱 | 采用壓縮機制熱，防止冷凝器結霜技術 | ||||||
| 制冷量@20℃ | 3kW | 7kW | 10.5kW | 14kW | 21kW | 28kW | ?35kW |
| 液體容積 | 8L | 15L | 20L | 30L | 50L | 60L | 80L |
| 制冷劑 | R1234fa???? （ODP=0?? GWP=4） | ||||||
| 載冷劑 | 純凈水 | ||||||
| 控制器 | PLC，模糊PID控制算法，具備串級控制算法 | ||||||
| 溫度控制 | 導熱介質出口溫度控制模式 pt100 | ||||||
| 外接溫度傳感器：（PT100或4～20mA或通信給定）控制模式（串級控制） | |||||||
| 通信協議 | 以太網接口TCP/IP協議 | ||||||
| RS485接口 modbus RTU協議 | |||||||
| 設備內部溫度反饋 | 設備導熱介質出口溫度、介質進口溫度、制冷系統冷凝溫度、壓縮機排吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設備有） | ||||||
| 系統壓力 | 制冷系統壓力采集高低壓壓力傳感器 | ||||||
| 循環系統壓力采集進出口位置采用壓力傳感器 | |||||||
| 循環泵 | 磁力無機械密封循環泵 | ||||||
| 蒸發器 | 板式換熱器 | ||||||
| 冷凝器 | 微通道冷凝器（風冷） | ||||||
| 板式換熱器（水冷），特別注意：需要使用清潔廠務水 | |||||||
| 制冷節流 | 電子膨脹閥 | ||||||
| 操作面板 | 7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數據導出 | ||||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；壓力保護，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | ||||||
| 系統撿漏 | 制冷系統100%氦檢出廠? 循環系統100%氦檢出廠 | ||||||
| 進出接口尺寸 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 外殼 | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||||||
所有設備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出?溫度：25℃。
產品參數
Product Parameter
| 型號 | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| 管道 | 通道1 | 通道2 | 通道3 |
| 溫度范圍 | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| 溫度穩定度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | ||
| 冷卻能力 | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| 加熱能力 | 4kW | 4.5+6kW | 3kW |
| 流量/壓力 MAX | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| 導熱介質接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 環境溫度 | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| 環境濕度 | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| 冷卻水溫度 | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷卻水流量 | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| 斷路器 | 100A | ||
| ?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度 | ||
| 重量 | 600kg | ||
| 外形尺寸 cm | 60*100*170 | ||
| 型號 | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| 管道 | 通道1 | 通道2 | 通道3 |
| 溫度范圍 | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| 溫度穩定度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | ||
| 冷卻能力 | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| 加熱能力 | 2kW | 6kW | Pump Heat Loss |
| 流量/壓力 MAX | 30L/min 0.85MPa | 30L/min 0.85MPa | 20L/min 0.8MPa |
| 導熱介質接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 環境溫度 | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| 環境濕度 | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| 冷卻水溫度 | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷卻水流量 | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| 斷路器 | 75A | ||
| ?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫） | ||
| 重量 | 600kg | ||
| 外形尺寸 cm | 60*100*170 | ||
產品特點
Product Features
產品參數
Product Parameter
雙通道Panel Chiller
| 型號 | FLTZ-203W-2T | |
| 管道 | 通道1 | 通道2 |
| 溫度范圍 | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | |
| 制冷量 | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| 加熱能力 | 2kW | 2kW |
| 流量/壓力 MAX | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
| 導熱介質接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 環境溫度 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 環境濕度 | 30～70% | 30～70% |
| 冷卻水溫度 | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷卻水流量 | 20L/min | 20L/min |
| 斷路器 | 30A | |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫） | |
| 重量 | 400kg | |
| 外形尺寸 cm | 50*90*160 | |
三通道Panel Chiller
| 型號 | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| 管道 | 通道1 | 通道2 | 通道3 |
| 溫度范圍 | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| 溫度穩定度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | ||
| 冷卻能力 | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| 加熱能力 | 4kW | 4.5+6kW | 3kW |
| 流量/壓力 MAX | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| 導熱介質接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 環境溫度 | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| 環境濕度 | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| 冷卻水溫度 | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷卻水流量 | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| 斷路器 | 100A | ||
| ?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度 | ||
| 重量 | 600kg | ||
| 外形尺寸 cm | 60*100*170 | ||
產品參數
Product Parameter
LNEYA 帕爾貼熱電制冷器Chiller有五款款型號可選，為晶圓蝕刻工藝提供可靠和精確的溫度控制
- 高可靠性和低使用成本；工業空間占用率小；極低的導熱液填充量；
- 低能耗，沒有壓縮機和制冷劑的系統，同時只有在有負載時輸出，大幅度降低能耗；
- 制熱、直冷時，冷熱部件沒有與導熱液直接接觸；動態控溫，精準控制過程溫度，快速溫度響應；
- 溫度漂移保護功能使得刻蝕的輪廓更加穩定；改善Wafer-Wafer的穩定性；模塊化部件使得維修更加方便；使用全氟液體。
| 型號 | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| 溫度范圍 | -20℃~90℃ | |||
| 控溫精度 | ±0.1℃ | |||
| 制冷能力 | 20℃ | 1200W | 2450W | 4500W |
| 10℃ | 900W | 1925W | 3500W | |
| 0℃ | 600W | 1400W | 2600W | |
| ?-10℃ | 350W | 875W | 1600W | |
| ?-20℃ | 80W | 350W | 700W | |
| 制熱能力 | ＞3000W | ＞6000W | ＞12000W | |
| 泵類型 | 直流磁力泵 | |||
| 壓力（bar） | ≤4 | |||
| 流量 | 15L/min at 2bar | |||
| 流體 | Galden HT135 | |||
| 冷卻水溫度 | DI＜20℃ | |||
| 冷卻水流量 | ≥12L/min | ≥20L/min | ≥32L/min | |
| CDA開啟溫度 | ＜30℃ | |||
| CDA壓力 | 0.5-0.8bar | |||
| CDA流量 | 2-3m3/h | |||
| CDA露點溫度 | ≤30℃ | |||
| 電源電壓 | AC208V，三相電壓 | |||
產品參數
Product Parameter
| 設備型號 | ZLFQ-80 | |
| 額定換熱量 | 80kW | |
| 一次側 （介質側） |
工作介質 | 純水、氟化液、乙二醇水溶液等 |
| 額定流量 | 300L/MIN | |
| 儲液容積 | 120L | |
| 供回液溫度 | 25/35℃ | |
| 溫控精度 | ±0.3℃ | |
| 真空泵抽氣量 | 130m3/h | |
| 負壓壓頭 | 70KPA | |
| 內循環泵配置 | 1+1冗余 | |
| 接口尺寸 | Rc1 1/4 | |
| 二次側 （冷卻側） |
冷卻介質 | PCW |
| 冷卻流量 | 4m3/h | |
| 過濾精度 | 50um | |
| 接口尺寸 | Rc1 | |
| 控制系統 | PLC控制器，前饋調節+控滯后PID算法 | |
| 通訊協議 | RS485串口MODBUS RTU協議/以太網接口TCP/IP協議 | |
| 供液泄露率 | 負壓循環無泄漏 | |
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；設備過載保護；低液位保護等 | |
| 其他功能 | 自動泄露檢測、自動排液、自動補液等功能 | |
| 電源 | AC220V/50HZ，8A(max) | |
| 外形尺寸 cm | 130(L)*70(W)*185(H) | |
產品特點
Product Features
產品參數
Product Parameter
| 型號 | FLTZH-5W/2T | ||
| 介質溫度范圍 | 40℃～+250℃ | ||
| 控制系統 | PLC控制器 | ||
| 溫控點控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 本體回液口溫度控制模式 CHUCK入口溫度控制模式（通信） CHUCK回口溫度控制模式（通信） CHUCK本體溫度控制模式（通信） |
||
| 溫差控制 | 可設定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差 | ||
| 通信協議 | MODBUS RTU 協議 ?RS485接口，以太網接口 | ||
| 外接入溫度反饋 | 通過通信 | ||
| 介質出口溫控精度 | ±0.1℃ | ||
| CHUCK溫控精度 | ±0.5℃ | ||
| 加熱功率 | 5.5kW | 5.5kW | |
| 冷卻能力 kW? AT | 250 ℃ | 5.5kW | 5.5kW |
| 150 ℃ | 5kW | 5kW | |
| 100 ℃ | 4kW | 4kW | |
| 50 ℃ | 2kW | 2kW | |
| 流量/壓力 | 8L/min 4bar | 8L/min 4bar | |
| 操作面板 | 7寸觸摸屏 | ||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電流監控、漏水報警、加熱系統三重保護、進出液口壓力監控及斷流保護 | ||
| 密閉循環系統 | 整個系統為全密閉系統，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫自動補充導熱介質。 | ||
| 接口尺寸 | G1/2 | G1/2 | |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | ||
| 冷卻水流量 | 10L/min max? at 25℃ | ||
| 導熱介質 | 氟化液 | ||
| 外形尺寸 cm | 45*85*145（可定制化） | ||
| 重量kg | 約40KG | ||
| 電源 | 220V 三相四線制 32A | ||
| 外殼材質 | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||
產品特點
Product Features
產品參數
Product Parameter
| 型號 | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| 溫度范圍 | 冷卻水溫度 +5℃~90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.05℃（出口溫度穩態） | ||||||
| 冷卻水溫度 | 7℃~30℃ 采用西門子/霍尼韋爾調節閥控制冷卻水流量 | ||||||
| 冷卻能力 | 5kW | 15kW | 30kW | 50kW | 100kW | 200kW | 300kW |
| 測試條件：最大循環量時，控溫溫度與冷卻水溫度溫差15℃ | |||||||
| 流量/壓力 MAX | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
| 儲罐容積 | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| 外形尺寸 cm | 48*75*39 | 48*75*39 | 48*75*50 | 定制 | 定制 | 定制 | 定制 |
產品特點
Product Features
產品參數
Product Parameter
| 性能對比 | 常規潤滑劑 | 全氟聚醚油 |
| 氧氣 | 緩慢氧化，產生酸或油泥劇烈氧化，著火或爆炸 | 不反應、不燃燒 |
| 高溫 | 速氧化，積碳或結焦加速揮發、泄露 | 無積碳、不易揮發、不流失 |
| 水或潮濕環境 | 乳化，被水淋濕 | 不溶于水 |
| 化學物質 | 被酸、堿、有機溶劑等腐蝕 | 化學品穩定性 |
| 接觸部件 | 腐蝕密封材料潤滑劑泄露，損壞設備 | 寬廣的材料相容性，無腐蝕 |
| 基礎油性 | CLKDOC138 | |
| 適用溫度范圍 | ℃ | / |
| ℉ | ＜-94~150 | |
| 粘度,cSt ASTM D445 |
20℃（68℉） | 7 |
| 40℃（104℉） | 4 | |
| 100℃（212℉） | / | |
| 粘度指數, ASTM D2270 | / | |
| 傾點ASTM D97 | ℃ | ＜-70 |
| ℉ | ＜-94 | |
| 密度g/mL | 0℃（32℉） | 1.87 |
| 100℃（212℉） | 1.67 | |
| 蒸發損失 ASTM D972 22小時質量損失 (wt%) |
66℃（150℉） | 11 |
| 121℃（250℉） | 87 | |
| 204℃（400℉） | / |
Chiller高精度冷熱循環器
適用范圍
氫氟醚是由氫、氟、氧和碳原子構成的化合物，具有醚結構，臭氧消耗潛能值ODP為零，全球暖化潛勢系數GWP低，且大氣停留時間很短，被認為是CFCs 理想替代品。除優良的環境性質外，氫氟醚還具有熱穩定性和化學穩定性、適度的溶解性、毒性低、無腐蝕性、不燃、不產生煙塵、材料兼容性好等特點，易于貯藏和運輸，被廣泛應用于醫療、電子、金屬、精
密器械、光學鏡片、通信及航空航天等眾多領域。
氫氟醚CLKDOC78作為美國環境保護部（EPA）確定的氟利昂替代物清單（SNAP）清單中的清潔劑和冷媒，且已被EPA排除在揮發性有機化合物（VOC）之列。可用于儀器、電子、半導體、醫療設備、航空航天等制造行業。
產品特點
Product Features
產品參數
Product Parameter
| 性 能 參 數 | 單位 | CLKDOC78 | |
| 材料描述 | 成分 | C4F9OC2H5 | |
| Cas號 | 163702-06-5 | ||
| 分子量 | g/mol | 264 | |
| 純度 | % | 99.5 | |
| 非揮發物質含量 | ppm | <2.0 | |
| 外觀 | 無色透明 | ||
| 理化性質 | 沸點 | ℃ | 76 |
| 傾點 | ℃ | -138 | |
| 臨界溫度臨界壓力 | ℃ | 210 | |
| 臨界壓力 | Mpa | 2.01 | |
| 蒸汽壓 | kPa | 14.5 | |
| 蒸發潛熱 | J/g | 126 | |
| 液體密度 | g/cm3 | 1.43 | |
| 比熱容 | J/Kg-K | 1220 | |
| 熱導率 | W/m-K | 0.069 | |
| 溶水性 | ppmw | 92 | |
| 介電強度0.1″gap | kV | >25 | |
| 介電常數@1kHz | / | 7.35 | |
| 體積電阻率 | Ohm-cm | 108 | |
| 環保與安全 | 臭氧層破壞潛值ODP | 0 | |
| 溫室效應潛值GWP | 59 | ||
| 大氣壽命 | Year | 0.77 | |
| 閃點 | ℃ | 無 |